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欧莱-欧莱凝胶
2020-10-20 20:26作者:堆糖网 225人阅读
简介一、欧来溅射靶材有限公司 溅射靶材的温度取决于能量的高低,举例1气压,功率5KW,偏压0。靶材表面温度为200度左右,基片温度不会高于100度如果上升到10Kw,靶材表面温度会接近40
一、欧来溅射靶材有限公司
溅射靶材的温度取决于能量的高低,举例1气压,功率5KW,偏压0。靶材表面温度为200度左右,基片温度不会高于100度如果上升到10Kw,靶材表面温度会接近400度,基片会达到150度左右,我说的基片距离靶材有10厘米左右 此时热量为热辐射传热,离靶材远的地方辐射相对小,温度就低一点
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